本发明公开了一种生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法,依次包括如下步骤：对工业级过氧化氢溶液进行反渗透处理、使步骤(1)获得的水溶液通过阳离子交换树脂、使步骤(2)得到的水溶液进行精细过滤,从而得到半导体级过氧化氢溶液。该生产效率高且稳定性强的半导体级双氧水的制备方法首先通过反渗透处理,对其进行第一次过滤,使其过滤掉蒽醌法生产的未经除杂的过氧化氢水溶液内部的絮状物。经本发明方法获得双氧水主体含量达30-32％,水含量、阳离子含量及阴离子含量均符合国际半导体设备和材料组织制定的化学材料12级标准,可用于半导体、大规模集成电路装配和加工过程中的蚀刻与清洗等方面。