本发明涉及一种用于生产含硫硅烷的方法,其通过以下步骤(a)通过将硫氢化钠或硫化钠、硫、Na-(2)CO-(3)和/或NaOH和步骤(f)的盐水以及任选存在的步骤(h)的含水悬浮液混合来制备水相制剂,(b)添加相转移催化剂总量的20-100重量%,(c)连续或分批地添加卤代烷基硅烷,并且同时分批或连续地添加相转移催化剂总量的剩余部分,(d)任选地添加来自(f)的盐水,任选地添加来自(h)的含水悬浮液,任选地添加来自步骤(k)的固体残余物,将相分离成下部含水悬浮液和上部有机相并排放有机相,(e)供应来自(d)的含水悬浮液,任选地添加来自(h)的含水悬浮液,分离成盐饼和盐水,(f)将步骤(e)的全部或部分盐水再循环到步骤(a)中并任选地到步骤(d)中,(g)任选地蒸馏来自步骤(e)的盐水的剩余部分以得到含水蒸馏物和含水悬浮液,(h)任选地将步骤(g)的含水悬浮液再循环到步骤(a)和/或(d)和/或(e)中,(i)将步骤(d)的有机相引向蒸发步骤以得到有机残余物和低沸点馏出物,(j)将来自蒸发步骤(i)的有机残余物分离成含硫硅烷和固体残余物,(k)任选地将步骤(j)的固体残余物再循环至步骤(d)。