本发明涉及气动执行器技术领域,具体的说是一种三段式双拨叉气动执行器；包括限位螺栓、箱体、三号槽、减震弹簧、缓冲块、活塞、环形槽、弹性橡胶块和通孔；当箱体内部通过气孔A进行进气时,箱体内部的气压增加,从而使活塞向靠近缸盖的一端进行运动,当活塞运动的过程中,活塞与缸盖之间的空腔内气压逐渐增加,从而使缸体内的气体通过通孔进入环形槽内,从而使环形槽内的气压增加,随着活塞继续运动,环形槽内的气压持续增加,使环形槽内的弹性橡胶块进行膨胀,从而使弹性橡胶块对缸体内壁进行挤压,从而使活塞与缸体内壁的密封性增加,从而使活塞适用于扭矩较大的执行器。

本发明涉及用于基本气密关闭限定出开口轴线的开口的真空阀(10),包括具有关闭侧的关闭件(14)和布置在与关闭侧相对的后侧的联接单元以及具有围绕开口的阀座(12a)的阀壁。该阀还包括线性驱动单元,关闭件(14)可借此沿调节轴线在基本垂直于开口轴线的至少两个调节方向上被调节,因此关闭件(14)可在露出开口的打开位置、推移到开口上方的中间位置和关闭开口的关闭位置之间被调节。真空阀(10)包括用于与开口相关的关闭件(14)的导向机构。关闭件(14)包括在从打开位置调节到关闭位置和返回的期间与导向机构相互作用的导向件(25),导向机构和导向件(25)如此形成和相互作用,在从中间位置调节到关闭位置的过程中,关闭件(14)横向于调节轴线的倾斜在第一部分运动中被启动和/或实现。